00테크 드라이룸(Dry room) 설비공사
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작성자 티원엔지니어링 작성일21-11-19 09:21 조회3,496회 댓글0건본문
드라이룸(Dry room) 설비공사
1. 드라이룸 기준
습 도: 5% 이하
온 도: 24℃ ±
청정도: 0.3μm @ 100 Class
조 도: 1000 lx
2. 반도체 제조과정에서 접착공정에 접착제 및 접착테이프 공정이 드라이룸을 구성하였습니다.
3. 드라이룸은 일반 클린룸 공정에 비해서 많은 에너지를 소비하는데, 고객사에서 고정관리비용을 줄일수 있는 방안을 요청받고.
에너지 절약형 하이브리드 공조시스템을 적용하였습니다.
4. 에너지 절약형 공조시스템을 적용 하고도, 생산공정에 고품질의 제품을 생산하고 있습니다.
5. 고객사에서는 드라이룸 에너지절약형 공조시스템을 검토후에 초기투자비 12%가 증가함에도 불구하고, 하이브리드 에너지 절약형 공조기스템을 적용하였습니다. 현재는 이더넷을 통하여 T1원격모니터링 시스템으로 데이터를 분석중에 있습니다.